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上海彼爱姆光学仪器制造有限公司
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U1510扫描电子显微镜一、用途SU1510扫描电子显微镜主机宽度仅为55cm体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜
SU1510扫描电子显微镜主机宽度仅为55cm体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。 特点 1. 仪器主体比过去减小20%,可以更加自由地选择安装场地。 2. 标配低真空功能,可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。 3. 可载入*大直径153mm,高度为60mm(WD=15mm)的样品,并进行元素分析。 4. 强大的鼠标控制功能,可实现电镜的所有操作。 5. 分子泵真空系统,洁净无污染。U1510扫描电子显微镜
一、用途
二、技术规格
项目 内容 二次电子分辨率 3.0nm(高真空,30kV) 背散射电子分辨率 4.0nm(低真空:6Pa,30kV) 倍率 5~300,000X 加速電圧 0.3~30 kV 样品台 X 0~80 mm Y 0~40 mm; Z 5~50 mm; T -20°~ 90°; R 360° 样品台控制 手动(可选:2轴马达) *大载入样品尺寸 直径:153 mm *大观察范围 直径:126 mm(XYR并用) *大样品高度 60 mm(WD=15 mm) 低真空范围 6-270Pa(从菜单设定) 灯丝 预对中钨灯丝 物镜光阑 4孔可变光阑 枪偏压 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 检测器 二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器 EDX分析位置 WD=15,TOA=35° 真空系统 分子泵1台,机械泵1台 安全措施 停电,漏电,自动保护
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