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日本filmetrics显微自动膜厚测量系统

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  • 公司名称武汉市艾德宝仪器设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地武汉市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2025/7/14 13:23:32
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武汉市艾德宝仪器设备有限公司是专业从事实验分析仪器、教学仪器、光学仪器、试验机、恒温恒温箱;环境监测;气体检测仪、环保仪器、分析仪器、水利水文气象监测设备、土木工程仪器、代理德国莱宝、德国普发、德国德图、 公司在多年创业过程中,建立了高素质、高效率、经验丰富的研发团队和管理人才。以科技为先导,始终瞄准、国内市场这一大方向,不断引进、吸收、研发、创新、开发了外观新颖、品质优良的数字仪器仪表。 目前,胜利仪器产品的营销网络遍布所有省、市、自治区,各大中城市均设有特约经销商、网点和办事处。产品远销多个国家和地区。 公司的质量方针:开拓创新,精益求精,精细管理,优质服务。 公司的品质承诺:满足顾客目前和未来对产品品质的要求,符合ISO9001质量管理体系的标准。 公司的经营理念:艾德宝在长期拚搏中精诚团结,不屈不挠,持之以恒取得了骄人的业绩,同时确立精品意识,保持技术,服务工业科技,为中国电子仪器仪表工业发展再创辉煌。  公司的服务宗旨;想客户所想,急客户所急,供客户所需,以更加*的技术品质和真诚的服务回报用户!
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日本filmetrics显微自动膜厚测量系统F54F54显微自动膜厚测量系统是将微小区域内的高精度膜厚/光学常数分析功能与自动高速载物台相结合的系统。兼容 2 英寸到 450 毫米的硅基板,它可以以的速度在点测量薄膜厚度和折射率。
日本filmetrics显微自动膜厚测量系统 产品信息

日本filmetrics显微自动膜厚测量系统F54

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F54显微自动膜厚测量系统是将微小区域内的高精度膜厚/光学常数分析功能与自动高速载物台相结合的系统。兼容 2 英寸到 450 毫米的硅基板,它可以以的速度在点测量薄膜厚度和折射率。
兼容5x至50x物镜,测量光斑直径可根据应用选择1μm至100μm。

主要应用

半导体平板

抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅、抛光硅片、化合物半导体、?T衬底等。
有机膜、聚酰亚胺、ITO、单元间隙等

产品阵容

模型

F54-UV

F54

F54-近红外

F54-EXR

F54-UVX

测量波长范围

膜厚测量范围

5倍

10倍

15倍

50倍

100倍

准确性*






190 – 1100nm

400 – 850nm

950 – 1700nm

400 – 1700nm

190 – 1700nm

————

20nm-40μm

40nm – 120μm

20nm – 120μm

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20nm – 35μm

40nm – 70μm

20nm – 70μm

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4nm – 30μm

20nm-40μm

40nm – 100μm

20nm – 100μm

4nm – 100μm

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20nm – 2μm

40nm – 4μm

20nm – 4μm

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20nm – 1.5μm

40nm – 3μm

20nm – 3μm

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± 0.2% 薄膜厚度

± 0.4% 薄膜厚度

± 0.2% 薄膜厚度

1纳米

2纳米

3纳米

2纳米

1纳米

测量示例

可以测量硅晶片上的氧化膜和抗蚀剂。




 

主要特点

 

  • 结合基于光学干涉原理的膜厚测量功能和自动高速载物台的系统

  • 兼容5x到50x物镜,测量光斑直径可根据应用从1μm到100μm变化。

  • 兼容 2 英寸至 450 毫米的硅基板

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