微波干燥技术和真空干燥技术的结合体，兼具微波干燥和真空干燥优点的一项新的综合干燥技术。微波真空干燥加工温度低、营养成分损失率低、脱水效率高，因此对含水率较高的水果蔬菜进行脱水加工时，更能发挥其优势。
早在1979年，法国就在工业中应用微波真空技术，生产的柑橘粉呈发泡状，易溶解，很好地保持了天然色、香、味，其维生素的保持率远高于喷雾干燥。美国加州大学研究用微波真空干燥技术生产脱水膨化葡萄，能很好地保持鲜葡萄风味和色泽，外形也能不萎缩，由于微波干燥温度低，干燥时间短，维生素B1，维生素B2，维生素C能得到较高的保留率。
目前对于果蔬的脱水利用的较多的是热风干燥，通过热风的高温导致果蔬表面受热，水分排出到空气中，由于渗透差内部的水分会再渗到果蔬表面，再受热，依次循环，同时由于热风的强力流动，将进入空气中的水分排出，从而达到脱水的目的。但是对于某些果蔬的加工，热风的高温会破坏果蔬的营养成分，特别是维生素C的含量，同时采用热风干燥后，对于某些有杀菌要求的果蔬，不能满足要求。而如果采用微波脱水，在正常大气压下，一般60～90℃就可以杀灭果蔬中的细菌，而对于维生素的破坏则小的多。对于某些对温度比较敏感的果蔬可以采用真空低温脱水设备进行处理，在真空条件下，水的沸点降低，传统的传导、对流、辐射的加热效果大打折扣，而真空对微波的传输却没有影响，如此可以方便的在低温条件下处理果蔬制品。
目前国外的鲜花干燥已经形成一个较有规模的行业，干燥后的鲜花颜色、形状都不变，但是放置期却可以长达一年以上。同样采用低温微波干燥可以避免热风等方式对鲜花造成的褪色、变性等现象产生。同时，真空低温微波脱水设备还可以应用于海参等名贵食品的脱水加工，相对于传统真空低温脱水，具有、节能、杀菌等优点。
研究发现微波真空干燥与40℃真空干燥联合干燥法干燥时间大大缩短。大蒜干燥后，硫代亚磺酸酯保留率比较接近冷冻干燥，可达到90%，与真空冷冻干燥蒜的色差差异极小，甚至比冻干蒜的白度略好，但*不足的是蒜质构紧密不如冷冻干燥疏松。加工南瓜汁时得到的大量副产品南瓜渣采用不同微波功率和压强条件进行微波真空干燥，发现在668.37W，4000Pa条件下干燥时，物料中胡萝卜素的保留率高，达到92.31%。
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